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介绍了一种用于MEMS应用的石英谐振器精确制造的新技术。这种方法 基于石英的激光诱导化学蚀刻。主要加工步骤包括飞秒紫外激光 处理Cr Au涂覆的Z切割α石英晶片，然后进行湿法蚀刻。激光图案化Cr-Au涂层 用作蚀刻掩模并且用于形成用于压电致动的电极。这种制造方法 改变石英的晶体结构或其压电财产。缺陷的形成，这在 通过优化工艺参数和控制时间行为来防止激光微加工石英 激光与物质的相互作用。该工艺不涉及任何光刻，并允许进行高几何设计 灵活性压电致动梁型谐振器的几种配置是使用相对 温和的湿法蚀刻条