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2021年 04月 20日|压电百科

关于EPSON的QMEMS简述

对紧凑、高精度石英器件的需求越来越大。“QMEMS”是Seiko Epson对这一需求的回应。

2022年 12月 21日|推荐文章

SiTime 提供全球最完整32.768KHz 有源振荡器和TCXOs

SiTime提供全套MEMS kHz振荡器和TCXO。超小占地面积、µ功率操作和精度的独特组合使该设备成为空间敏感、电池驱动的时钟产品的理想选择。通过可编程驱动器强度，这些设备可以驱动多个负载，例如BLE睡眠时钟、RTC、音频和其他连接SOC。

2023年 02月 24日|推荐文章

日本西铁城晶体的蚀刻技术

这是一种利用氢氟酸等化学物质的腐蚀作用来切割材料的技术。它是对通过研磨获得的表面进行改性或成功加工难以通过机械加工实现的紧凑、高精度晶体单元芯片的基本基本技术。

2023年 07月 06日|推荐文章

村田：汽车专用2016尺寸高精度晶体谐振器XRCGE_FXA系列实现商品化

村田制作所是一家全球性的综合电子元器件制造商，主要从事以陶瓷为基础的电子元器件的开发、生产和销售业务。致力于通过自身开发积累的材料开发、工艺开发、商品设计、生产技术以及对它们提供支持的软件和分析评估等技术基础，创造独特产品，为电子社会的发展做出贡献。

2023年 04月 20日|外文期刊

飞秒激光辅助制造下，以压电驱动结晶石英为基础的MEMS谐振器工艺。

介绍了一种用于MEMS应用的石英谐振器精确制造的新技术。这种方法基于石英的激光诱导化学蚀刻。主要加工步骤包括飞秒紫外激光处理Cr Au涂覆的Z切割α石英晶片，然后进行湿法蚀刻。激光图案化Cr-Au涂层用作蚀刻掩模并且用于形成用于压电致动的电极。这种制造方法改变石英的晶体结构或其压电财产。缺陷的形成，这在通过优化工艺参数和控制时间行为来防止激光微加工石英激光与物质的相互作用。该工艺不涉及任何光刻，并允许进行高几何设计灵活性压电致动梁型谐振器的几种配置是使用相对温和的湿法蚀刻条