飞秒激光辅助制造下，以压电驱动结晶石英为基础的MEMS谐振器工艺。

介绍了一种用于MEMS应用的石英谐振器精确制造的新技术。这种方法基于石英的激光诱导化学蚀刻。主要加工步骤包括飞秒紫外激光处理Cr Au涂覆的Z切割α石英晶片，然后进行湿法蚀刻。激光图案化Cr-Au涂层用作蚀刻掩模并且用于形成用于压电致动的电极。这种制造方法改变石英的晶体结构或其压电财产。缺陷的形成，这在通过优化工艺参数和控制时间行为来防止激光微加工石英激光与物质的相互作用。该工艺不涉及任何光刻，并允许进行高几何设计灵活性压电致动梁型谐振器的几种配置是使用相对温和的湿法蚀刻条件，并通过实验证明了它们的功能。设备是有区别的通过降低所制造的石英结构的表面粗糙度和改进的壁轮廓而从先前的努力中获得。

       获取更多，请邮件luojunjie@piezoman.com 索取，谢谢！